진공 피더 - 기술 검토
엔지니어링 Ceramic Co., (EC © ™) 보고서 :
EC OOO Engineering Ceramics의 진공 Fidotra의 기술 검토. 다음 특성을 갖춘 고성능 진공 피더를 전문으로합니다.
✔ 세라믹 절연체슈퍼 높이 전압에서 분리를위한 (alno al/aln)
✔ 진공 l u ki (누설 속도 <10⁻⁹ mbar · l/s) ✔ 터보 -분자/이온 펌프에 대한 밀봉 (UVP/SUVP와 호환)
✔ 반도체, 항공 우주 산업 및 연구에 대한 개별 주문 구성
표 1 : 행동 원칙에 대한 분류
표 2 : acuum 수준에 따른 분류
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