엔지니어링 세라믹 공동, (EC © ™) 보고서 :
EC 진공 피드 스루 - 기술 개요
EC는 고성능 진공 피드 스루를 특징으로합니다.
✔ 세라믹 절연체초고 전압 분리를위한 (Alloy/aln)
✔ 진공 브레이징 기술 (누출 속도 <10 ⁻⁹ mbar · l/s)
✔ 터보 분자/이온 펌프의 밀폐 밀봉 (UHV/XHV 호환)
semiconductor, 항공 우주 및 연구 응용 프로그램에 대한 맞춤형 구성
표 1 : 작업 원칙 별 분류
표 2 : 진공 수준에 의한 분류
주요 선택 기준
1. 진공 수준을 중단합니다
필요한 진공 수준은 프로세스 사양과 일치해야합니다. 예를 들어:반도체 제조일반적으로 10 ° PA 산업 공정 미만의 진공 수준이 10 ¹ ~ 10² PA 범위에서 효과적으로 작동 할 수 있습니다.
2. 펌핑 속도
측정초당 리터(l/s) 또는시간당 입방 미터(m³/h) 챔버 부피에 대해 적절하게 크기를 조정해야하며 가스 하중 고 처리량 응용 분야 (예 : 진공 용광로)는 1,000m³/h가 필요할 수 있습니다.
3. GAS 및 화학적 호환성
● 표준 응용 프로그램 :표준 재료 (스테인레스 스틸, 알루미늄)
● 부식성 환경 :다음과 같은 특수 재료가 필요합니다.
● PTFE 코팅 구성 요소 (산성 저항)
● Hastelloy 또는 니켈 합금 (염소와 같은 공격적인 화학 용)
4. 에너지 효율 및 유지 보수
오일 밀봉 펌프 :
● 초기 비용 절감
● 정기적 인 오일 교환이 필요합니다 (2,000 ~ 4,000 시간마다)
● 민감한 공정에서 석유 오염 위험
건조 (오일이없는) 펌프 :
● 초기 투자가 높아집니다
● 유지 보수가없는 작동 (오일 교환 없음)
● 깨끗한 공정 (예 : 제약, 음식)이 선호됩니다.
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