엔지니어링 Ceramics Inc. (EC © ™) 보고서 :
EC진공 피드 스루- 기술 요약
EC는 다음과 같은 고성능 진공 피드 스루를 전문으로합니다.
Ultra 고전압 절연을위한 세라믹 절연체 (Al₂o₃/Aln)
✔ 진공 브레이징 기술 (누출 속도 <10 ⁻⁹ mbar · l/s)
Turbo 분자 펌프/이온 펌프의 밀폐 밀봉 (UHV/XHV 호환)
semiconductor, 항공 우주 및 연구 응용 프로그램에 대한 맞춤형 구성
표 1 : 운영 원리에 따른 분류
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종류 |
운영 이론 |
최종 진공 (PA) |
주요 기능 |
주요 용도 |
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로타리 베인 펌프 |
회전 밴으로 전환 |
1E-1 ~ 1E2 |
오일 씰 유형, 유지 보수가 필요합니다 |
foreline/back 펌프 |
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드라이 스크롤 펌프 |
궤도 나선에 의한 가스 압축 |
1e-2 ~ 1e1 |
오일이없고 낮은 진동 |
실험실 장비 |
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뿌리 송풍기 |
카운터 회전 로브를 사용한 가스 수송 |
1E-1 ~ 1E3 |
높은 처리량, 종종 다중 계층 |
산업용 진공 시스템 |
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오일 확산 펌프 |
스팀 제트 운동량으로 전송 |
1e-7 ~ 1e-4 |
움직이는 부분이없고 차가운 트랩이 필요합니다 |
e- 빔 증착 |
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터보 분자 펌프 |
고속 로터 (> 60k rpm)는 분자와 충돌합니다 |
1e-9 ~ 1e-6 |
청결, 진동에 민감합니다 |
UHV 과학 기계 |
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극저온 펌프 |
<20k 표면의 가스 응축 |
<1e-10 |
최대 진공 및 정기 재생이 필요합니다 |
우주 환경 시뮬레이션 |
표 2 : 진공 수준에 의한 분류
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진공 범위 |
압력 (PA) |
최적의 펌프 유형 |
기술적 인 고려 사항 |
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거친 진공 |
1e5 ~ 1e2 |
로타리 베인, 다이어프램 |
가스 밸러스트를 통한 고압 지지대 |
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낮은 진공 |
1e2 ~ 1e-1 |
뿌리 + 로타리 베인 |
속도 대 전력 효율 |
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높은 진공 |
1e-1 ~ 1e-7 |
확산, |
배경 방지 |
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초고록 진공 청소기 (UHV) |
1e-7 ~ 1e-10 |
이온, cryopump |
재료 선택이 중요합니다 |
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매우 높은 진공 |
<1e-10 |
하이브리드 이온-결정 |
양자 수준 환경 |
주요 선택 기준
1. 최종 진공 수준
필요한 진공 수준은 프로세스 사양을 충족해야합니다. 예를 들어:
- 반도체 제조에서 10 ℃ 미만의 진공 수준이 일반적으로 필요합니다.
- 산업 공정에서는 10 ¹ ~ 10² PA의 범위에서 효과적으로 작동 할 수 있습니다.
2. 펌핑 속도
초당 리터 (L/S) 또는 시간당 입방 미터 (m³/h)로 측정
챔버 용량 및 가스 부하에 적합한 크기를 선택하십시오.
고 처리량 애플리케이션 (예 : 진공 가로)에는 1,000+ m³/h가 필요할 수 있습니다
3. 가스 및 화학적 호환성
- 표준 사용 : 표준 재료 (스테인레스 스틸, 알루미늄)
- 부식성 환경 : 예를 들어 특수 자료가 필요합니다.
-PTFE 코팅 부품 (산성 내성)
-Hastelloy 또는 Nickel 합금 (염소와 같은 강력한 화학 물질 용)
4. 에너지 효율 및 유지 보수
- 오일 씰 펌프 :
- 초기 비용이 낮습니다
- 정기적 인 오일 교환이 필요합니다 (2,000 ~ 4,000 시간마다)
- 민감한 공정을 통한 오일 오염 위험
- 건조 (오일이없는) 펌프 :
- 높은 초기 투자
- 유지 보수가 필요하지 않습니다 (오일 교환 없음)
- 깨끗한 과정에 권장됩니다 (예 : 의약품, 음식)
이 텍스트에서 다루는 주요 용어는 다음과 같습니다.
1. 진공 씰 - 진공 씰, 핑거 진공 밀봉 기술 및 진공 피드 스루가 효과적입니다 (밀봉 연결).
2. 스루를 통과하는 부분 (かんつうぶ)-스루 스루 부분은 일반적으로 벽이나 파티션을 통과하는 부분을 나타냅니다. 때로는 진공과 유사한 구조를 설명하는 데 사용됩니다.
3. Furanzi- 진공 시스템 연결 구성 요소에 일반적으로 사용되는 플랜지, 진공과 관련된 하드웨어에는이 용어가 포함될 수 있습니다.
4. 진공 커넥터 - 진공 커넥터, 언더 알 공기 진공 커넥터 및 피드 스루에 액세스하는 능력.
5. 단열 침투 - 진공 피드 스루 중에 수행하는 능력.
이 단어는 "진공 피드 스루"와 전적으로 동일하지는 않지만 특정 상황에서 근사치 또는 관련 용어로 사용될 수 있습니다. 사용해야 할 언어는 기술 세부 사항 및 산업 규범에 따라 다르므로 관련 전문 문헌을 참조하거나 전문가를 참조하여 정확성을 보장하는 것이 좋습니다.
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