세계 세라믹 산업 뉴스

반도체 재결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

2025-08-05

엔지니어링 세라믹 공동, (EC © ™) 보고서 :

Engineering Ceramic Co는 3 개의 별개의 재료 유형의 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트를 자랑스럽게 제공하며, 각각 고급 산업의 요구하는 요구를 충족시키기 위해 맞춤형.

Recrystallized Silicon Carbide

Recrystallized Silicon Carbide

CVD-Sic 코팅을 갖춘 재결정 실리콘 카바이드 (RSIC) 웨이퍼 보트

우리의 재결정 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 정교한 제조 공정으로 두드러집니다. 보트는 개별 장치 부품으로 나누어 개별적으로 소결하고 실리카 접착제와 접착하여 세 심하게 제작됩니다. 그런 다음이 부분은 고온 발사를 통해 단일 강력한 구조에 융합 한 다음 정밀 CVD-SIC 세라믹 코팅 (100 µm ± 1 µm 두께)을 적용합니다. 재결정 화 된 재료의 고유 한 다공성은 그렇지 않으면 작동 중에 입자 오염을 유발하기 때문에이 코팅은 필수적이다. CVD-Sic 코팅이 장착 된 흑연 제품과 달리 RSIC 웨이퍼 보트는 열 팽창 계수 (CTE) 불일치를 제거하여 2-3 년의 신뢰할 수있는 서비스 수명을 보장합니다. 그러나 복잡한 프로세스, 확장 된 생산 시간 및 비용 상승은이 제품의 프리미엄 품질을 반영합니다.

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반응 결합 실리콘 카바이드 (RBSIC) 웨이퍼 보트

실리콘-연소 된 SIC (SISIC)로도 알려진 반응 결합 실리콘 카바이드 (RBSIC) 웨이퍼 보트는 0.1%미만의 다공성으로 뛰어난 표면 밀도를 전달하여 추가 CVD 세라믹 코팅의 필요성을 부정합니다. 이 보트는 SIC 및 Si 분말을 혼합하여 생산하여 모양으로 캐스팅하여 응집력있는 장치로 소결하고 정밀 CNC 가공으로 마무리됩니다. SIC의 경도와 브라이언스는 스크랩 속도가 높고 생산 비용이 증가하는 도전에 도전을 제기하는 반면, 결과는 내구성있는 제품입니다. 세그먼트 가공 및 용융을 통해 더 낮은 비용을 제공하는 석영과 비교하여 RBSIC에는 10-15% 자유 SI가 포함되어있어 최대 작동 온도를 1350 ° C 미만으로 제한합니다 (SI의 용융점). 또한, HF 부식에 대한 감수성은 입자 오염으로 이어질 수 있으며, 이는 특정 응용 분야에서 고려해야 할 요소입니다.

Recrystallized Silicon Carbide

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소결 실리콘 카바이드 (SSIC) 웨이퍼 보트

순도가 99.5% 인 압력이없는 소결 SIC에서 제작 된 우리의 소결 실리콘 카바이드 (SSIC) 웨이퍼 보트는 성능의 정점을 나타냅니다. 캐스트, 소결 및 CNC 가공 (제조 공정)은 맞춤형 SSIC 나사, 너트 및 핀으로 고정 된 어셈블리에서 경화되어 하중 강도를 최적화합니다. 거의 다공성이없는이 보트에는 추가 코팅이 필요하지 않으며 입자 오염에 면역이됩니다. 극한의 조건에서 탁월하여 최대 작동 온도 1600 ° C 및 진공 환경에서 1800 ° C를 초과합니다. 특히 고온 및 가혹한 부식성 환경에서 우수한 부식 저항으로 유명한 SSIC 웨이퍼 보트는 5 년 넘게 인상적인 서비스 수명을 제공하여 가장 까다로운 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.

Recrystallized Silicon Carbide

20 년이 넘는 SIC 제품 제조 과정에서 EC는 광범위한 생산 경험과 실용적인 전문 지식을 축적했습니다. 우리는 고객에게 안정적인 제품, 안정적인 기술 지원 및 24/7 중단없는 서비스를 제공합니다. 자세한 제품 매뉴얼, 기술 문의, 가격 및 재고 정보는 당사에 문의하십시오.

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