ALD (원자 층 증착) 통합 버블러는 원자 층 증착 공정에 전구체 재료를 저장하는 데 사용되는 주요 컨테이너 구성 요소입니다. 버퍼 가스의 흐름에 전구체 증기를 포함하는 데 도움이 될 수 있습니다.
이 회사는 실리콘 카바이드 매트릭스에 2 상 티타늄 카바이드 입자를 추가하여 독특한 "코어-쉘"미세 구조를 형성하기 위해 나노-가운 기술을 채택합니다. 이 설계는 재료가 파단 인성을 향상시키면서 매우 높은 굽힘 강도를 유지할 수있게합니다.
고온 안정성 : 99% 알루미나 세라믹은 우수한 고온 안정성을 나타내며, 매우 높은 온도에서 구조적 무결성과 성능을 유지합니다.
